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Huace-4簡易探針臺的產(chǎn)品特點及應用

日期:2023-09-12瀏覽:1223次

Huace-4簡易探針臺

產(chǎn)品簡介:

探針臺是一種輔助執(zhí)行機構(gòu),測試人員把需要量測的器件放到探針臺載物臺(chuck)上,在顯微鏡配合下,X-Y移動器件,找到需要探測的位置。接下來測試人員通過旋轉(zhuǎn)探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕,控制前部探針(射頻或直流探針),精準扎到被測點,從而使其訊號線與外部測試機導通,通過測試機測試人員可以得到所需要的電性能參數(shù)。

產(chǎn)品特點及應用:

◆ 滿足I-V/C-V,PIV測試,光電測試等;

◆ 可用于6英寸以內(nèi)樣品測試;

◆ 同軸絲杠傳動結(jié)構(gòu),線性移動;

◆ 可放置于手套箱內(nèi)使用;

◆ 形狀輕巧,操作方便,價格實惠。

技術(shù)參數(shù)

臺體規(guī)格

尺寸

4英寸/6英寸

水平旋轉(zhuǎn)

360°旋轉(zhuǎn),可微調(diào)15°,精度0.1°,帶角度鎖死裝置

X-Y移動行程

2英寸×3英寸

X-Y移動精度

10μm

樣品臺Z軸調(diào)節(jié)

可升降10mm

樣品固定

真空吸附,中心吸附孔,多圈吸附環(huán)

針座平臺

左右各一個針座平臺,**可放置6個探針座

背電極測試

樣品臺電學獨立懸空,4mm插孔可接背電極

外形尺寸

400mm長*380mm寬*500mm高

設(shè)備重量

20KG

光學系統(tǒng)

顯微鏡類型

單筒顯微鏡/體式顯微鏡

放大倍率

16X-200X

移動行程

水平方向繞立柱360°旋轉(zhuǎn),Z軸50.8毫米

光源

外置LED無極調(diào)節(jié)亮度環(huán)形光源

CCD

200萬像素/500萬像素/1200萬像素


定位器

X-Y-Z移動行程

12mm*12mm*12mm

移動精度

10μm/2μm/0.7μm/0.5μm

吸附方式

磁力吸附,真空吸附

線纜

同軸線/三軸線

漏電精度

10pA/100fA/10fA

固定探針

彈簧固定/管狀固定

接頭類型

BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子

針尖直徑

0.2μm/1μm/2μm/5μm/10μm/20μm

針尖材質(zhì)

鎢鋼;鈹銅

可選附件:

加熱臺;
顯示器;
轉(zhuǎn)接頭;
射頻測試配件;

屏蔽箱;

光學平臺;
鍍金卡盤;
光電測試配件;




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